回复26楼::
为了进一步把镜片的抛光精度提升到纳米级的水平，蔡司光学实验室设计并制造了离子束抛光设备，离子束抛光（Ion Beam Figuring）利用高速离子流轰击材料表面发生溅射实现原子级材料去除，精细程度达到物理极限，它们一次可以轰掉镜片材料上的一层原子。
离子束抛光是一种非接触式的抛光方法，是当前各类高精度光学元件重要的终极修形手段。
蔡司使用这套自动化系统为ASML定制的反射镜片表面的光滑度变态到极致，表面粗糙度只有惊人的50pm（rms）
第一，不需要把鹅卵石撕开就可以铺设平整路面，
第二，原子真正硬核只是原子核。
第三，制造工艺的名为sub-atomic level，低于原子直径。

:
他说的 50pm ems是error， 不是你理解的字面意思
你笨想，如果他们的精度到了 50pm 即 0.05nm
那还用它们做什么光刻机？ 直接做0.05nm的芯片得了
对吧
祝你学习愉快，你说的ion Figuring 主要是磨光学镜片用的，表面本来就不是平面

离子束抛光（Ion Beam Figuring）
你去查查离子的定义去吧 还有50pm rms的意义
不错，还算好学

根据你评论好像你学问不高，起码物理知识很有限！