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回复5楼:我认为EUV光刻机的问题会很快解决。过去几大关键部件中问题最大的就是光源问题。现在几条路在走，问题应该不大了。
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光源问题去年还是前年已经解决了，实验机都出来了，要大规模商用估计得3年
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