Huawei & SMIC to build 5nm chip without EUV machines
华为和中芯国际将在没有 EUV 机器的情况下打造 5nm 芯片
5/16/2024
https://www.msn.com/en-us/news/technology/huawei-smic-to-build-5nm-chip-without-euv-machines/ar-BB1muckE?ocid=msedgntp&pc=EDGEDB&cvid=d87857a8820e40118cf5d5d1b474a8b2&ei=12

这个不奇怪，多重曝光+蚀刻修剪，DUV不仅可以制造出5纳米芯片，甚至可做3纳米。
但这不代表技术的先进性，因为线宽越小，曝光及修剪次数就越多，呈指数上涨。简单地说，用DUV制造5纳米芯片，其生产成本至少增加四倍，而良率仅为其25%左右，也就是说每单一芯片的价格要高16倍以上，所以使得产品无实际竞争力。